隨著(zhù)半導體技術(shù)的不斷發(fā)展，對晶圓襯底的表面質(zhì)量要求越來(lái)越高。晶圓拋光霧是高質(zhì)量拋光的重要參數之一，尤其是對晶圓精拋質(zhì)量的評價(jià)更加重要。
晶圓拋光霧指拋光后再晶圓表面留下的微淺損傷缺陷（如高密度的凹坑、小丘和拉絲），該缺陷在強聚光燈照射下產(chǎn)生光的散射給人眼的感覺(jué)像霧。常規的霧度測量通過(guò)離線(xiàn)的方式來(lái)進(jìn)行測量，但對于生產(chǎn)過(guò)程控制來(lái)說(shuō)，十分不利。 真尚有晶圓霧度檢測方案，可提供在線(xiàn)實(shí)時(shí)的霧度檢測，能自動(dòng)對比霧度值并生成霧度圖，最終實(shí)現了生產(chǎn)過(guò)程中霧度在線(xiàn)自動(dòng)檢測。 優(yōu)點(diǎn)：1.系統自動(dòng)對焦
2.微米級缺陷檢測能力
3.可定制
ZM105.2D系列二維高速投影圖像測量?jì)x是專(zhuān)為在線(xiàn)非接觸二維批量測量線(xiàn)性尺寸、直徑、角度、螺紋參數、零件形狀、跳動(dòng)等而研發(fā)的。
ZM105.2D系列二維高速投影圖像測量?jì)x使用“陰影”測量原理，即準直激光被傳送到接收器，接收單元內的探測器陣列可以精確地測量光束路徑中物體投射陰影的邊緣。
ZM105.2D系列二維高速投影圖像測量?jì)x提供了一個(gè)簡(jiǎn)單直觀(guān)的工具——測量方案，用戶(hù)可以自行創(chuàng )建測量算法，ZM105.2D將根據用戶(hù)創(chuàng )建的算法進(jìn)行分析、測量和公差控制。
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ZM106系列邊緣檢測傳感器用于非接觸式測量和監控各種物體（如膠帶、板、基板等）的邊緣（邊緣）位置。
ZM106系列邊緣傳感器基于“陰影”原理，由控制器和測量頭組成，其中測量頭有發(fā)射器和接收器兩個(gè)模塊。
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內徑測量?jì)x精密輪廓檢測系統微觀(guān)型面測量系統靜態(tài)形變測量系統精密在線(xiàn)測厚系統振動(dòng)測量系統無(wú)人警衛船光伏清潔機器人智能垃圾壓實(shí)機智能機器人自穩定無(wú)人機起落平臺空氣質(zhì)量檢測儀橋梁結構健康檢測系統其他檢測系統
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