邊緣檢測是圖像處理和計算機視覺(jué)中的一項基本任務(wù),旨在識別圖像中物體的邊界。它擁有包括物體識別、物體跟蹤和圖像分割等在內的廣泛應用。就拿近年大熱增長(cháng)的半導體行業(yè)來(lái)說(shuō),就有非常多的環(huán)節需要進(jìn)行依靠邊緣檢測來(lái)確保半導體設備的可靠性和性能。比如晶圓制造,因為硅晶圓需要通過(guò)一系列復雜的工藝生產(chǎn),包括晶體生長(cháng)、切片、拋光和清潔,而在這些階段,晶圓邊緣可能出現劃痕、裂紋或污染等缺陷,導致潛在的設備故障或產(chǎn)量下降。為了解決這個(gè)問(wèn)題,制造商就需要利用先進(jìn)的檢測系統準確地檢測和分類(lèi)晶圓邊緣的缺陷。其他如光刻、蝕刻、封裝和組裝階段同樣如此。 英國真尚有ZM106系列邊緣傳感器就是低成本邊緣檢測的首選。它基于先進(jìn)的“陰影”原理,由控制器和測量探頭兩個(gè)部分組成,其中測量探頭包含發(fā)射器和接收器兩個(gè)模塊。一個(gè)控制器可配2組測量探頭,輕松進(jìn)行兩個(gè)位置的邊緣測量。 英國真尚有ZM106系列邊緣傳感器專(zhuān)為非接觸測量和監控各種物體(如膠帶、板、基板等)的邊緣位置而研發(fā),擁有±20um高精度、1um重復性、7mm測量范圍的高性能。而且,ZM106系列邊緣傳感器的測量探頭小巧輕便,發(fā)射器和接收器之間距離可高達30mm,安裝非常簡(jiǎn)單。不單如此,控制器還支持直接數顯,無(wú)需額外數顯設備。 簡(jiǎn)而言之,英國真尚有ZM106系列邊緣傳感器提供了一個(gè)簡(jiǎn)單易用、低門(mén)檻、低成本的邊緣檢測方案。 當然,除了英國真尚有ZM106這類(lèi)低成本邊緣傳感器外,還有很多其他的傳感器用于不同的行業(yè)的邊緣檢測。最常用的傳感器之一是相機,上文提到過(guò)的晶元邊緣檢測使用的就是高分辨率相機。它通過(guò)比較圖像中相鄰像素的強度來(lái)檢測邊緣。使用攝像傳感器的好處是它可以捕捉到廣泛的物體和表面。然而,相機會(huì )受到照明條件的影響,在低光環(huán)境下其準確性可能會(huì )下降。其次使用激光三角反射法原理的線(xiàn)激光傳感器、激光光幕測微儀等等光學(xué)傳感器也是邊緣檢測的重要工具。 |
內徑測量?jì)x精密輪廓檢測系統微觀(guān)型面測量系統靜態(tài)形變測量系統精密在線(xiàn)測厚系統振動(dòng)測量系統無(wú)人警衛船光伏清潔機器人智能垃圾壓實(shí)機智能機器人自穩定無(wú)人機起落平臺空氣質(zhì)量檢測儀橋梁結構健康檢測系統其他檢測系統
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