???????隨著(zhù)國防科技、精密制造等領(lǐng)域中,機械裝置想著(zhù)超精密化方向的發(fā)展,如芯片制造、天文觀(guān)測、激光加工等領(lǐng)域,對于其中用到的鏡面偏轉裝置也有著(zhù)更高的要求,需要對于鏡面偏移裝置的精密微位移、偏移有極高的測量要求,這對于鏡面偏轉裝置的驅動(dòng)控制有著(zhù)極為重要的意義。
???????對于鏡面偏轉的微位移測量,大多在微米級的位移量,對于分辨率更有著(zhù)極高的要求,并且部分應用中,還會(huì )用于比較特殊的環(huán)境中,例如高原、極地天文望遠鏡或者真空中光刻機的等溫度條件或高壓條件,這種種因素都對鏡面的微位移測量提高了難度。
???????真尚有科技在鏡面微位移的精密測量有著(zhù)自己獨特的技術(shù),利用電容測微原理的非接觸式位置測量系統,以此來(lái)測量鏡面偏移裝置的精密微位移,對于溫度變化大帶來(lái)的溫漂范圍大以及真空高壓,真尚有提供定制性方案,定制探頭使用具有高熱穩定性材質(zhì)的超殷鋼、塞爾杜爾和陶瓷材質(zhì)帶來(lái)穩定的測量,實(shí)現高輻射,特高壓,低溫解決方案。
???????真尚有科技提供各種檢測方案,我們不僅僅提供各種技術(shù)方面的支持,基于我們在行業(yè)內超過(guò)15年的積累,協(xié)助客戶(hù)一起把原始需求迭代為完整方案,最終服務(wù)您的方案藍圖反而是我們更注重的地方。我們始終相信成交靠緣分,不管您是否從我們這里采購,我們都非常樂(lè )意為您服務(wù)。
ZNX超精密電容位移傳感器是一種基于電容測微原理的非接觸式位置測量系統。 兩個(gè)傳感器板,一個(gè)目標和一個(gè)探頭,形成一個(gè)平行板電容器。 可以使用適當的電子控制器測量這兩個(gè)板的間距。 可以實(shí)現最小至 7 皮米 (RMS) 的分辨率。 我們的標準產(chǎn)品提供 20um 至 1250um 的測量范圍,頻率響應高達 5KHz,線(xiàn)性度低至 0.02%。高熱穩定性結構(提供超殷鋼、微晶玻璃和陶瓷選項)材料選擇以最大限度地減少位置漂移。
CC-A-4101控制器是用于驅動(dòng) ZNXSensor 系列的單通道獨立電子模塊。 它通過(guò)測量平行板電容器的電容變化來(lái)工作,并輸出與ZNXSensor 間隙成正比的模擬電壓。
當傳感器間隙從標稱(chēng)間隙的 50% 變化到 150% 時(shí),電壓輸出在 -5V 和 +5V 之間線(xiàn)性變化,此比例可由用戶(hù)設置。
ZNX超精密電容位移傳感器其緊湊的尺寸、獨立操作和高分辨率使其成為升級需要納米定位的現有系統的理想選擇。
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內徑測量?jì)x精密輪廓檢測系統微觀(guān)型面測量系統靜態(tài)形變測量系統精密在線(xiàn)測厚系統振動(dòng)測量系統無(wú)人警衛船光伏清潔機器人智能垃圾壓實(shí)機智能機器人自穩定無(wú)人機起落平臺空氣質(zhì)量檢測儀橋梁結構健康檢測系統其他檢測系統
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