極端環(huán)境條件下對微位移測量的高要求

???????在工業(yè)生產(chǎn)中和科研項目中，有些位移測量應用需要在真空、低溫環(huán)境中操作，例如航空航天、極地研究等領(lǐng)域，低溫微位移促動(dòng)器、模擬真空低溫環(huán)境實(shí)驗平臺控制系統、極地天文望遠鏡鏡片控制系統等用于低溫真空條件下，需要在超低溫和真空這種極端環(huán)境條件下的微位移測量。這類(lèi)的極端條件下對于測量?jì)x器有著(zhù)很高的要求，既要有高精度、高分辨率、低遲滯和線(xiàn)性誤差，也需要保證能在極端環(huán)境條件下的工作穩定性，這對測量系統有著(zhù)極高的要求。

真空低溫環(huán)境微位移測量方案無(wú)懼極端環(huán)境

???????真尚有科技的真空低溫環(huán)境微位移測量方案，使用極端溫度電容傳感器來(lái)實(shí)現在超低溫、真空環(huán)境下的微位移測量。為了降低極端溫度帶來(lái)的影響，，可以根據實(shí)際情況進(jìn)行定制，可選用具有高熱穩定性結構，提供超殷剛和陶瓷等材料以最大程度地減少位置漂移。最高可以實(shí)現亞納米或納米級的位置分辨率，可提供20um至11mm的測量范圍，其頻率響應高達5KHz，線(xiàn)性度低至0.02％。

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