光刻機中需要檢測其結構的形變，這就需要一種高分辨率應變感應，以校正機械裝置的納米振動(dòng)。
其測量方式如下：在片上非平衡馬赫-曾德?tīng)柛缮鎯x（MZI）中即PGR中插入一個(gè)與pi位移FBG對準的掃描窄線(xiàn)寬激光器。MZI用作波長(cháng)跟蹤器，可以同時(shí)測量光功率；根據該信息，可以生成光譜，并且可以高精度確定FBG波長(cháng)。因為掃描激光器是窄線(xiàn)寬激光器，這意味著(zhù)調制期間的波長(cháng)噪聲很低。但是當我們使用非波長(cháng)校正算法時(shí)，線(xiàn)寬“噪聲”會(huì )導致白噪聲基底。使用PGR可以測量這些微小的偏差，并在應變/溫度測量中進(jìn)行補償?？梢詼y量高達0.2nε的應變值，可以用應變噪聲的功率譜密度表示。