晶圓生產(chǎn)商的擔心

???????隨著(zhù)半導體集成電路制造工藝的發(fā)展，特征尺寸不斷縮小，使芯片的集成度越來(lái)越高，對集成電路制造及工藝設備提出了更高的要求，最新的工藝發(fā)展越來(lái)越受到工藝設備的制約。以立式爐設備來(lái)講，為了保證上述工藝、材料性能的實(shí)現，熱處理工藝對立式爐設備的指標，如顆?？刂?、氧含量控制、升降溫速率、穩定性等，提出了更高的要求。

真尚有方案介紹

??????? 真尚有科技基于砷化鎵的光纖溫度測量設備，可以為晶圓制造過(guò)程中的過(guò)程監控提供非常理想的條件，它們的測量范圍從-200°C到+300°C，并且具有0.2℃的高精度。

???????我們的設備能夠滿(mǎn)足生產(chǎn)室內對純度和安全性的嚴格要求。真尚有科技的光纖探頭完全不受RF和EMI的干擾，可確保在硅晶片上進(jìn)行精確測量，而對維護的要求非常低。

???????真尚有科技可以為安裝測量系統提供完全定制的解決方案。我們的技術(shù)旨在提供靈活性，以確保我們滿(mǎn)足您的配置要求。光纖溫度傳感器可以擴展到數百米，而不會(huì )影響精度。

更懂您的行業(yè)顧問(wèn)

???????真尚有科技提供各種溫度檢測方案，我們不僅僅提供技術(shù)方面的支持，基于我們在行業(yè)內超過(guò)15年的積累，協(xié)助客戶(hù)一起把原始需求迭代為完整方案，最終服務(wù)您的方案藍圖反而是我們更注重的地方。我們始終相信成交靠緣分，不管您是否從我們這里采購，我們都非常樂(lè )意為您服務(wù)。