精密加工設備的與精密測量技術(shù)的發(fā)展

精密與超精密加工技術(shù)是先進(jìn)制造技術(shù)的一個(gè)重要組成部分，是眾多大型系統實(shí)現簡(jiǎn)化設計和擴展功能的主要方法。近年來(lái)，各種新技術(shù)在精密加工中得到了廣泛的應用，使精密與超精密加工技術(shù)產(chǎn)生了飛躍的發(fā)展，大大改變了它的技術(shù)面貌。當代的精密工程、微細工程和納米技術(shù)是現代制造技術(shù)的前沿，也是未來(lái)技術(shù)的基礎。

回顧過(guò)去的幾十年，人類(lèi)取得的每一項重大科技成果，幾乎都與制造技術(shù)尤其是精密加工技術(shù)密切相關(guān)。從某種意義上說(shuō)，超精密加工擔負著(zhù)支持最新科學(xué)發(fā)展和發(fā)明的重要使命。超精密加工技術(shù)既是高代價(jià)、高投入的工藝技術(shù)，又是高增值、高回報的工藝技術(shù)，世界工業(yè)先進(jìn)國家都把它放在國家技術(shù)和經(jīng)濟振興的重要位置。

由于超精密加工的加工準確度和表面測量都很高，一定要有相應的檢測手段，才能說(shuō)明是否達到技術(shù)要求。因此，在精密和超精密加工中，檢測的難度更大，即要求測量誤差比加工誤差高一個(gè)數量級。

隨著(zhù)科技的日益進(jìn)步，高精度高度自動(dòng)化的數控機床越來(lái)越多應用到生產(chǎn)中。如何能實(shí)現精加工實(shí)時(shí)測量呢？我們知道，高精度高度自動(dòng)化數控機床需要優(yōu)秀的技術(shù)工人操作，如果不能做到實(shí)時(shí)測量，勢必會(huì )增加技術(shù)工人的操作工時(shí)，生產(chǎn)效率比較低。如果在自動(dòng)化設備上面加裝模塊級的非接觸式檢測設備，在精加工過(guò)程中實(shí)時(shí)測量校準，甚至可以將傳感器的測量數據用軟件處理控制精加工的進(jìn)給量。這樣技術(shù)工人第一時(shí)間了解工件的尺寸信息并加以判斷，生產(chǎn)效率大大提高。

在非接觸式檢測設備中，激光類(lèi)位移傳感器由于其高精度（可以達到0.1um級），高測量頻率，高穩定性，高定位精度，環(huán)境要求低等因素，成為精加工行業(yè)中最優(yōu)選的檢測設備。ZLDS100在測量工件厚度、直徑、凹槽深度，輪廓檢測，精確定位等等應用上都具有非常好的性能表現。ZLDS100具有非常高的設備集成度，60mm*50mm*20mm模塊級尺寸適用于絕大多數精加工設備的加裝，并且外殼有多個(gè)定位孔便與定位。數據經(jīng)過(guò)內部處理，最終通過(guò)網(wǎng)絡(luò )串口（RS232或者RS485）反饋給計算機（或PLC）。ZLDS100在量程選取上具有范圍廣，重復精度高，線(xiàn)性度好等特點(diǎn)。量程從2mm-1250mm，重復精度最高0.02um，線(xiàn)性精度最高達到0.1um。無(wú)論從穩定性，精準度，ZLDS100都具有非常高的水平。

“今后制造技術(shù)的基礎將在于超精密加工技術(shù)的完成”，這是美國軍方人士的說(shuō)法，同時(shí)也說(shuō)明了超精密加工技術(shù)的重要性。從精密超精密加工的現狀來(lái)分析，應加強超精密加工技術(shù)的研究力度，工廠(chǎng)、高校和研究所應密切合作，針對工業(yè)發(fā)展過(guò)程中的實(shí)際需求，一方面大力推廣多年來(lái)我們在超精密加工技術(shù)研究方面取得的成果，另一方面還要加強創(chuàng )新性研究，推動(dòng)這項技術(shù)的蓬勃發(fā)展。同時(shí)，精密加工技術(shù)的發(fā)展需要精密測量尤其是非接觸式測量的發(fā)展與之匹配。市場(chǎng)對測量準確度不斷提升的需求，也是鞭策研究人員加快開(kāi)發(fā)高端產(chǎn)品去適應市場(chǎng)的動(dòng)力。