XY編碼器或者叫柵格，在X和Y方向上以10um作為基礎周期，整個(gè)計量系統則以5um的作為測量周期。NG用三相90-element的探測器從柵格中捕捉第一階的激光通過(guò)衍射方式反射過(guò)來(lái)的信號。這三個(gè)信號為極小的移動(dòng)提供一個(gè)非常明確的測量相位。 NG-A-PCI是用于測量二維超精密的平面位移的測量系統。NG是一個(gè)XY網(wǎng)格編碼器系統，湍流效應是激光干涉儀經(jīng)常會(huì )遇到的，該系統也可以避免與相單獨線(xiàn)性尺度關(guān)聯(lián)的阿貝誤差。NG在制造柵格的過(guò)程中，能夠保證其達到激光干涉儀的精度，并且以一個(gè)更經(jīng)濟的價(jià)格、更實(shí)用和更堅固的制造工藝來(lái)封裝它。