NS是一款用于線(xiàn)性測量的超精密干涉編碼器測量系統。它可以避免激光干涉儀經(jīng)常會(huì )遇到的湍流效應，同時(shí)提供納米級可重復性和分辨率。NS兼容大多數現有的設計平臺。 NS傳感器是一款采用二極管光源的高精密電子設備。它用三相90-element的探測器通過(guò)掃描方式捕捉第一階的激光通過(guò)衍射方式反射過(guò)來(lái)的信號，經(jīng)過(guò)高度準確的插值方法和編碼器對反射不敏感的條件下，這三個(gè)信號提供一個(gè)非常明確的測量相位。