近年來(lái),在集成電路和微處理器需求不斷攀升的推動(dòng)下,半導體芯片產(chǎn)業(yè)出現了大幅增長(cháng)。這一增長(cháng)主要歸功于它們在消費電子、汽車(chē)和通信系統等領(lǐng)域的廣泛應用。隨著(zhù)這些芯片的復雜性不斷增加,對制造過(guò)程中的質(zhì)量控制和缺陷檢測的重視程度也隨之提高。在這種情況下,邊緣檢測已成為確保半導體器件可靠性和性能的關(guān)鍵程序。 制造商在不同的生產(chǎn)階段采用不同的邊緣檢測技術(shù)。例如,在晶圓制造過(guò)程中,他們主要利用配備高分辨率攝像頭和復雜算法的先進(jìn)光學(xué)檢測系統來(lái)檢測晶圓邊緣的缺陷并進(jìn)行分類(lèi)。在光刻工藝中,采用自動(dòng)掩膜檢測系統來(lái)識別掩膜圖案中的潛在問(wèn)題。在蝕刻過(guò)程中,通過(guò)掃描電子顯微鏡(SEM)或透射電子顯微鏡(TEM)對邊緣進(jìn)行檢測,以仔細檢查蝕刻圖案是否存在異常。 這些先進(jìn)的檢測解決方案使制造商能夠保持嚴格的質(zhì)量控制措施,減少半導體器件中的潛在缺陷。用于精密工件高速邊緣檢測的一種現代技術(shù)是投影圖像法。這種方法利用圖像沿特定方向的投影來(lái)檢測邊緣。例如,英國真尚有ZM106系列邊緣傳感器就采用了這種方法,將圖像投射到一維信號上。投影上每個(gè)點(diǎn)的位置反映了沿原始圖像相應線(xiàn)的累積像素值,通過(guò)分析這些像素值可以識別原始圖像的邊緣。同樣,ZM105.2D 二維投影圖像測量?jì)x的工作原理也是投影圖像,通過(guò)接收鏡頭將圖像投影到二維 CMOS 傳感器上。然后,控制器根據圖像陰影邊界的位置確定物體的邊緣,從而描繪出物體的輪廓。 與其他邊緣檢測技術(shù)相比,圖像投影法擁有眾多優(yōu)勢。它的計算效率高,需要較少的內存來(lái)存儲中間結果,因此是一種更具成本效益的解決方案。此外,它在有效處理形狀不規則和有噪聲的圖像方面能力超群。這種方法還具有同時(shí)檢測多個(gè)方向邊緣的獨特優(yōu)勢,因此是需要特定方向邊緣檢測應用的理想選擇。 英國真尚有公司的 ZM105.2D 二維投影圖像測量?jì)x充分體現了這些優(yōu)勢。它提供高速、高精度測量,每秒可檢測多達 130 個(gè)工件,最小測量誤差僅為 ± 1.5 um。ZM105.2D 尤其適用于需要較長(cháng)發(fā)射器和接收器距離的應用。例如,ZM105.2D-25x30 型的發(fā)射器和接收器之間的標準間距為 250 毫米,并可根據客戶(hù)要求進(jìn)行定制。 然而,邊緣檢測只是 ZM105.2D二維投影圖像測量?jì)x的一個(gè)應用。它更廣泛的用途在于高速、在線(xiàn)、批量測量二維線(xiàn)性尺寸、直徑、角度、螺紋參數、零件形狀、跳動(dòng)值和許多其他參數。因此,它特別適用于噴油器等復雜的高精度工件。 針對特殊應用,市場(chǎng)上絕大多數品牌不支持定制或者無(wú)法小批量定制,有些即使能定制但費用高昂,而英國真尚有持續提供小批量、低成本定制傳感器或方案,既滿(mǎn)足了項目的特殊要求,又兼顧了低成本,直接促成了多個(gè)項目的成功。 盡管有其固有的局限性,但投影圖像法的優(yōu)點(diǎn)超過(guò)了它的缺點(diǎn),因此在許多邊緣檢測至關(guān)重要的應用中,它是一個(gè)合適的選擇。這包括計算機視覺(jué)、模式識別、醫學(xué)成像等領(lǐng)域。該技術(shù)已被廣泛應用于這些領(lǐng)域,以提高圖像質(zhì)量,促進(jìn)精確分析和解讀。這不僅提高了這些應用的整體效率,還極大地推動(dòng)了數字圖
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