NLS11/NLS12納米級位移計

傳感器測量系統基于光譜共焦原理,由光學(xué)頭和控制器組成，之間通過(guò)一根光纜連接。
該款傳感器進(jìn)行了小型化的封裝，便于集成到現有的系統中。

應用于表面難以測量的物體（技術(shù)性及困難表面），是一種非接觸式輪廓測量的通用的測量解決方案。理想情況下，傳感器適合于敏感的，軟的或液體的表面。適用于微機械工程，電氣工程，光學(xué)行業(yè)，塑料和造紙行業(yè)，半導體和PCB產(chǎn)業(yè)的檢測，工具行業(yè)等。

應用領(lǐng)域-1.jpg 應用領(lǐng)域-2.jpg 應用領(lǐng)域-3.jpg 應用領(lǐng)域-4（無(wú)原圖，有水?。?jpg

傳感器	NLS11/NLS12納米級位移計
量程mm	1
分辨率 nm	20
線(xiàn)性度	NLS11: ≤ 1um NLS12: ≤ 2um
重復性nm	≤ 15
測量間隙mm	NLS11: 4 NLS12: 13.5
光源鹵素燈W	NLS11: 670nm半導體激光二極管 NLS12: 780nm半導體激光二極管
光斑直徑μm	NLS11: < 2um NLS12: 2.0um
測量垂直度o	90±25
響應Hz	16～1K
輸出	數據接RS232，模擬0－10V
重量g	NLS11: 探頭約250，控制器約4000 NLS12: 探頭約2000，控制器約4000

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安裝尺寸-1.jpg

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