NM-X-5A尺寸小，毫秒級響應時(shí)間，應用在需要高可靠性和高輸出的方面。輕質(zhì)量、高剛度，而且可以用于極端高的帶寬環(huán)境。
電容傳感器提供了高于納米級的分辨率，實(shí)現在6微米內的閉環(huán)控制。柔性導軌使運動(dòng)平滑，運動(dòng)范圍可減小到5微米。因為結合了數字閉環(huán)控制器，NM-X-5A可以實(shí)現高于納米級的響應。
>5微米運動(dòng)范圍，高于納米級分辨率；
振蕩頻率>8K；
小于微秒級響應時(shí)間(負載5g)；
現場(chǎng)掃描和步驟反應最優(yōu)化；
高穩定性；
即插即用，低停機時(shí)間；
磁頭和硬盤(pán)測試；
干涉測量……
參數 | 符號 | 值 | 單位 | 備注 | ||||||
靜態(tài)參數 |
| |||||||||
|
| 最小 | 標準 | 最大 |
|
| ||||
材質(zhì) |
| 鋁 |
|
| ||||||
尺寸 |
| 23（長(cháng)）×16.5（寬）×7.6（高） | mm |
| ||||||
*范圍 | dxp·max | 6.5 |
| μm |
| |||||
*比例因子 | bx1 |
| 1 |
| μm | ① | ||||
*比例因子誤差 | δbx1 |
| 小于0.1 | % | ||||||
共振頻率（空載） | f0·0 | 8000 |
| Hz |
| |||||
最大負載 |
|
|
| 5 | g | ② | ||||
動(dòng)態(tài)參數 |
| |||||||||
3dB帶寬 | Bx·p | 500 | Hz |
| ||||||
*信號響應時(shí)間 | txs·s | 1．6 | ms | ③ | ||||||
*位置噪音 | δXp·n | 0.1 | nm | ④ | ||||||
誤差 |
| |||||||||
*磁滯（峰峰值） | δxp·hyst |
| 0.1 | 0.2 | % | ⑤ | ||||
*線(xiàn)性度（峰值） | δxp·lin |
| 0.1 | 0.2 | % | ⑥ | ||||
注意：
*這些參數由各轉換器實(shí)測并提供。
①、所有的位置命令單位是每微米7個(gè)數字分辨率。
②、這是Z軸可承受的最大負載。
③、這是2%的響應時(shí)間，這是伺服系統的閉環(huán)參數，用戶(hù)可以控制，測試單位是500nm；
④、實(shí)際的位置噪音；
⑤、位移的百分比，意思是位移為1um則磁滯小于1nm。
⑥、誤差為滿(mǎn)量程的百分比。
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