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DP-Cx

數字壓電轉換器(DP)是一個(gè)壓電轉換設備,具有很高的線(xiàn)性度和非常完美的重復性,量程最大70μm,最小15um,延遲小于1nm。
普通壓電轉換器是非線(xiàn)性的,而且表現出滯后和不穩定的現象。為了克服這些不足之處,每個(gè)DP轉換器都會(huì )內置一個(gè)位置傳感器。這種傳感器的輸出控制電壓消除滯后、非線(xiàn)性和輸出不穩定的情況。每個(gè)DP轉換器都會(huì )提供一個(gè)校準曲線(xiàn),它可以作為一個(gè)基礎,用于修正非常微小的非線(xiàn)性誤差。
位置檢測電路和壓電驅動(dòng)放大器已經(jīng)微型化封裝在獨立的DP控制器,只需要給它提供±15V的電壓就可以工作。這使得DP轉換器非常適合于OEM應用。DP控制器跟模擬輸入,14位并行數字接口,狀態(tài)行和準備信號就可以組成一個(gè)完善系統。
DP轉換器要能工作,最少需要一個(gè)DP控制器。對于實(shí)驗室應用,如果要使用三個(gè)以上的DP控制器,可以安裝在一個(gè)AX301主機里面,AX301提供位置顯示,可選IEEE488,RS232和并行接口,并允許手動(dòng)控制DP轉換器。

返回列表
  • 外殼材料用不脹鋼和微晶玻璃;

  • 15、35、70um的移動(dòng)距離; 

  • 分辨率高達納米級; 

  • 1ms響應時(shí)間; 

  • 安裝方便簡(jiǎn)潔; 

  • 特別適用于OEM應用;

掃描顯微探針; 

硬盤(pán)磁頭測試; 

近場(chǎng)掃描光學(xué)顯微鏡; 

精密工程……

 

參數

符號

單位

備注

靜態(tài)參數

 

4~20mA(500Ω阻抗)或0~10V

 

 

型號

 

S

M

L

 

 

材料

 

不脹鋼和微晶玻璃

 

 

長(cháng)度

 

42.2±0.3

76.7±0.3

127.8±0.3

mm

 

直徑

 

20±0.15

 

 

mm

 

凈重(不包含電纜和接頭)

 

70

110

170

g

 

線(xiàn)纜長(cháng)度

 

2040±40

 

 

mm

 

*移動(dòng)范圍

dxp·max

>15

>35

>70

μm

 

最大負荷

 

5

5

5

Kg

動(dòng)態(tài)參數

 

工作溫度

 

+10~+50

 

 

 

儲存溫度

 

0~+70

 

 

 

相對濕度

 

5~95(無(wú)冷凝)

%

 

工作壓力

-VAC

10-3~10-5

t

 

-UVAC

10-3~10-9

t

 

響應時(shí)間

txs·s

1

4.3

25

ms

 

*位置噪音(1δ

δXp·n

1(使用低噪聲控制器為0.5)

nm

誤差

 

 

 

 

*磁滯

δxp·hyst

≤1

nm

 

*線(xiàn)性度

δxp·lin

≤0.1

≤0.15

≤0.15

%

重復性

 

≤1

nm

 

注意:

這些參數由各轉換器實(shí)測并提供的。

DP在Z軸方向最大能承受的負載。

②、真實(shí)位置噪聲。

③、滿(mǎn)量程的相對誤差。

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