NM2100電子控制器

NM2100是由納米傳感器，高電壓放大器和控制電子元件結合作為一個(gè)單一通道的獨立模塊，供電電壓有±15V，130V和-30DV電源。使用該控制器可提供壓電轉換器的閉環(huán)位置控制，X-Y平臺，鏡子轉向機制等應用。另外，它還應用于開(kāi)環(huán)控制作為壓電控制器和納米傳感器。
電子控制器允許用戶(hù)優(yōu)化NM2100閉環(huán)響應。閉環(huán)控制比開(kāi)環(huán)控制在穩定性和線(xiàn)性度上面有了巨大的提高。
型號：
2100 -標準
2100-20 -擴展輸出范圍（降低至-20V）
2101 -無(wú)納米傳感器的屏幕驅動(dòng)程序

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主要特點(diǎn) 技術(shù)規格安裝尺寸測量原理成功案例行業(yè)解決方案應用領(lǐng)域

亞納米的分辨率；
線(xiàn)性度可達0.02%；
測量帶寬可調（50HZ，500Hz或5kHz）；
放大器增益可調（在不必使用滿(mǎn)量程的情況下）；
可選擇長(cháng)（“L”）或短（“-S”）測量量程（2pF或10pF電容）；

磁盤(pán)驅動(dòng)器磁頭測試；

膜/晶圓夾頭對齊；

掃描探針顯微技術(shù)；

光腔調整；

干涉測量；

參數	值	單位	備注
靜態(tài)參數
尺寸	218x77x34	mm
供電電壓	±15±1@120mA	VDC
	±120~+130@30mA	VDC
	-32~-27@30mA	VDC	①
傳感器輸出	-5~+5	V	②
模擬輸入范圍	-10~+10	V
數字輸入D/A分辨率	14	Bits
納米傳感器動(dòng)態(tài)參數
比例因子	0.1~0.01	GV^-1	③
噪音水平(-S)	＜0.3	ppmHz^-1/2rms	④
噪音水平(-L)	＜0.15	ppmHz^-1/2rms	④
熱漂移	5	ppmK^-1Typ	④
預熱時(shí)間	10	分鐘
預熱漂移	80	ppm	④
聚苯乙烯擾	10	ppmV^-1	④
線(xiàn)性度	＜0.2	%	⑤
帶寬	50,500,5000±10%	Hz	⑥
高壓放大器的動(dòng)態(tài)參數(典型值)
輸出電壓(2100)	0~+120	V
輸出電壓(2100-20)	-20~+120	V
帶寬	5	KHz	⑦
模擬輸入增益	6	V/V	⑧
數字輸入增益	7.3	mV/bit	⑧
噪音	0.2	mVms	⑨
最大電流	50	mA

注意：

①、負電源，僅限于2100-20型號中。

②、量程可調在內降低性能的情況下。

③、 G就是距離的意思，比例因子是通過(guò)側面面板的選擇開(kāi)關(guān)來(lái)調整。

④、 PPM是指每百萬(wàn)分之一距離變化。

⑤、線(xiàn)性誤差取決于傳感器安裝精度0.02%的線(xiàn)性誤差是可以實(shí)現的。請聯(lián)系真尚有公司洽談詳情。

⑥、帶寬是通過(guò)側面面板的選擇開(kāi)關(guān)來(lái)調整。

⑦、典型的，取決于執行機構。

⑧、只限于開(kāi)環(huán)控制。

⑨、一般情況。

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