MP執行器是一個(gè)低電壓的壓電轉換設備，有各種各樣的量程，以適應各種定制應用。開(kāi)環(huán)壓電轉換設備理論上有無(wú)限的分辨率并且只是受限于驅動(dòng)器上的電壓噪聲。它的量程可以從15-105um，甚至進(jìn)一步進(jìn)行機械放大。
每個(gè)執行器內部預裝以確?？梢垣@得一個(gè)高拉力，以及作為一個(gè)強大的推動(dòng)力。它們的回轉速度受限于電子元件上的驅動(dòng)電流。當沒(méi)有使用傳感器時(shí)，10％- 15％的固有滯后限制其精度。
低電壓；
尺寸緊湊；
高強度；
內部預裝 - 高拉力；
VAC和UVAC選項；
廣泛應用的附件；
顯微鏡； 波束控制； 自定義閉環(huán)系統等
參數 | 符號 | 值 | 單位 | 備注 | ||||
靜態(tài)參數 |
| |||||||
型號 |
| 15 | 30 | 45 | 75 | 105 |
|
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材料 |
| 不銹鋼 |
|
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長(cháng)度 |
| 30 | 50 | 70 | 110 | 150 | mm |
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直徑 |
| 10 | mm |
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線(xiàn)纜長(cháng)度 |
| 2000 | mm |
| ||||
*移動(dòng)范圍 | dxp·max | >15 | >30 | >45 | >75 | >105 | um |
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最大負荷 |
| 10 | Kg | ① | ||||
剛度 |
| 50 | 25 | 16 | 10 | 7 | N/um |
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電容量 |
| 1.8 | 3.6 | 5.4 | 9.0 | 12.6 | uF |
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動(dòng)態(tài)參數 |
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工作溫度 |
| +10~+50 | ℃ |
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工作電壓 |
| -20~-120 | VDC |
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儲存溫度 |
| 0~+70 | ℃ |
| ||||
相對濕度 |
| 5~95（無(wú)冷凝） | % |
| ||||
誤差 |
|
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| ||||
*磁滯（峰值） | δxp·hyst | ≤13 | % |
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*線(xiàn)性度 | δxp·lin | ≤6 | % | ② | ||||
注意：
*這些參數由各轉換器實(shí)測并提供的。
①、這是MP在Z軸方向最大能承受的負載。
②、滿(mǎn)量程的相對誤差。
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