系統性能

重復性

±20nm

精度（175mm×175mm）¹

±200nm 滿(mǎn)量程

精度（380mm×380mm）¹

±1.0um 滿(mǎn)量程

¹（溫度變化±0.25℃）

最大速度²

1400mm/s

²(V-MAX=[最大邊緣頻率] X [LSB])

編碼器到探頭間距

12.0±0.1mm

測量區域
（其它區域可選）

40×45mm, 150×150mm
210×210mm, 380×380mm

工作溫度

+10°C～+40°C

存儲溫度

–20°C～+70°C

NG探頭

外形尺寸

23.5×47.0×60.5mm

外殼材料

6061-T6鋁

光源（785nm）

Class IIIb，3mw，激光二極管

重量（不包括線(xiàn)纜）

110g

接口線(xiàn)纜

3m，15針接頭

雙軸POLARFLASH處理器（A-quad-B）

分辨率（可選）

LSB=5um÷2N；N=5,6,7,8；
≈20、39，78，156nm

最大邊緣頻率（可選）

1.25，2.5，5，10MHz

數據傳輸時(shí)間

<4us< span="">

輸出格式

A-quad-B差分TTL/每根軸

外形尺寸

127mm X 84mm X 24mm

輸出格式

32位并行字

供電

+5DVC（±0.25V）@350mA

NG編碼器

間距（機械/光學(xué)）

10 μm / 5μm

鈉鈣膨脹系數

7.0 × 10^-6/°C

石英（熔石英）膨脹系數

0.7 × 10^-6/°C

如果想采用其他材料，請咨詢(xún)工廠(chǎng)