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CPS3D表面微觀(guān)型面測量系統

我們具有多年光學(xué)傳感器和測量技術(shù)的經(jīng)驗,并開(kāi)發(fā)出新一代光學(xué)傳感器,克服了傳統產(chǎn)品的缺點(diǎn)。其核心的光電器件使傳感器可以滿(mǎn)足嚴格的質(zhì)量要求。其卓越的測量能力也使它成為研究部門(mén)的首選。
NLS13 自動(dòng)聚焦傳感器具有無(wú)與倫比的測量速度、精確度和分辨率。由于自動(dòng)聚焦原理的限制,此傳感器只適合于連續表面的測量,對于不連續或表面復雜的情況,建議選用共焦傳感器。
從2000年開(kāi)始,我們開(kāi)發(fā)了共焦傳感器作為NLS13的補充。傳感器動(dòng)態(tài)的測量范圍使它可以應付各種反射率的表面和很尖的邊緣,而無(wú)需做任何適配或設置。

返回列表
  • 量程0.3~1mm;

  • 分辨率10~25nm;

  • 卓越的測量性能,且易于操作;

  • 綜合的觸發(fā)模塊;

  • 大的測量間隙,高數值孔徑,特別適用于復雜的地形;

  • 能測量各種反射率的表面和尖端邊緣,并無(wú)需做任何適配或設置;

    產(chǎn)品應用于電子行業(yè),光學(xué)器件,電信行業(yè),塑料和造紙行業(yè),IC封裝,機械工程,陶瓷行業(yè)、汽車(chē)等應用領(lǐng)域。

   


型號

NLS11

NLS12

NLS13

NLS14

測量范圍mm

1

1

1.5

0.3

分辨率nm

20

20

10

25

測量間隙mm

4

13.5

2

4

光斑直徑μm

<2< span="">

2

1.9

5

激光等級

2

1

1

 

光源

半導體傳感器

半導體傳感器

半導體傳感器

鹵素燈

工作原理

共焦傳感器

共焦傳感器

自動(dòng)聚焦傳感器

白光傳感器


我們保留規格變化而不另行通知的權利。


    NLS13發(fā)射的光源通過(guò)物鏡投射到被測物樣品表面,其反射回來(lái)的光會(huì )通過(guò)內置的裝置形成光斑顯示在傳感器里面,從而被探測器檢測。物鏡的運動(dòng)通過(guò)增量型編碼器控制,傳感器自動(dòng)算出當前位移值。

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