突破納米級鏡面偏轉難題，超精密鏡面位移檢測、控制方案，就選英國真尚有納米級差動(dòng)電渦流傳感器ZED51/52!

應用背景

定位轉向鏡面來(lái)獲取，追蹤，定位(ATP)激光信號，一般用在通信和研究上面。

定位鏡面的過(guò)程中，可以確保非常高的精度在亞微米弧度的范圍內，可使激光準地射到數百公里以外的目標。

測量方案

采用四個(gè)電渦流傳感器探頭-一對傳感器對應一個(gè)軸方向-安裝在鏡面后面以檢測其運動(dòng)位移（如圖1所示）。每個(gè)傳感器的作用相當于平衡橋路的一條腿，當鏡子旋轉時(shí)，橋便失去平衡，這里傳感器提供一個(gè)雙極性輸出電壓，這個(gè)電壓跟鏡面的位移成正比。因ZED51/52電渦流傳感器具有1nm的動(dòng)態(tài)分辨率（靜態(tài)分辨率0.1nm）以及超長(cháng)的時(shí)間穩定性，所以鏡面出現納米級偏移都可以被準備檢測到并且反饋給閉環(huán)系統進(jìn)行調節。

方案選用的產(chǎn)品：ZED51/52納米級差動(dòng)電渦流傳感器

ZED51/52納米級差動(dòng)電渦流傳感器主要特點(diǎn)：

非接觸：用電渦流技術(shù)，傳感器可以在不接觸被測目標的情況下進(jìn)行測量，測量結果精確，可靠性高。

高分辨率：測量鏡面角位移的精確度可達亞微弧度，它僅受限于傳感器的安裝。

靈活性：多傳感器配置可容納多種測量范圍和其他性能方面的考慮，比如說(shuō)鏡子的尺寸或者位移。

體積小易安裝：ZED51尺寸很?。?.12X2.00X0.75英寸），重量輕（70g）。

用途廣泛：ZED51除了可以用于定位鏡面，還可用于通訊衛星的激光夜視鏡測距。

ZED51/52納米級差動(dòng)電渦流傳感器測量原理：

差分測量系統是精密測量技術(shù)的重大進(jìn)步。它們提供出色的分辨率、可重復性和歸零精度，用于檢測導電目標相對于一對非接觸式傳感器的對齊/居中位置。

對于差分測量應用，每個(gè)通道有兩個(gè)精確匹配的傳感器位于目標的相對兩側或兩端。在這種傳感器到目標的關(guān)系中，當目標遠離一個(gè)傳感器時(shí)，它向另一個(gè)傳感器移動(dòng)等量。輸出為差分和雙極。同一電橋的相對腿上的電子匹配傳感器提供了卓越的熱穩定性。