ZNX超精密電容位移傳感器是一種基于電容測微原理的非接觸式位置測量系統。 兩個(gè)傳感器板，一個(gè)目標和一個(gè)探頭，形成一個(gè)平行板電容器。 可以使用適當的電子控制器測量這兩個(gè)板的間距。 可以實(shí)現最小至 7 皮米 (RMS) 的分辨率。 我們的標準產(chǎn)品提供 20um 至 1250um 的測量范圍，頻率響應高達 5KHz，線(xiàn)性度低至 0.02%。高熱穩定性結構（提供超殷鋼、微晶玻璃和陶瓷選項）材料選擇以最大限度地減少位置漂移。

CC-A-4101控制器是用于驅動(dòng) ZNXSensor 系列的單通道獨立電子模塊。 它通過(guò)測量平行板電容器的電容變化來(lái)工作，并輸出與ZNXSensor 間隙成正比的模擬電壓。 當傳感器間隙從標稱(chēng)間隙的 50% 變化到 150% 時(shí)，電壓輸出在 -5V 和 +5V 之間線(xiàn)性變化，此比例可由用戶(hù)設置。

ZNX超精密電容位移傳感器其緊湊的尺寸、獨立操作和高分辨率使其成為升級需要納米定位的現有系統的理想選擇。

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CWCS10納米級電容傳感器采用電容式測量原理，無(wú)需接觸被測物即可測量傳感器與被測物表面之間的距離，并且具有納米級的分辨率。

CWCS10納米級電容傳感器的最高工作溫度受連接器內部焊接材料的熔化溫度限制，標準探頭也能在接近絕對零度的極低溫度下進(jìn)行測量。并且由于傳感器的靈敏度容差很小，因此更換探頭后無(wú)需重新校準仍然可以保證 ±0.5% 的總精度。對于特殊應用，納米級電容傳感器CWCS10的輸出電壓的靈敏度還可以調整為 0 到 10 倍。

CWCS10納米級電容傳感器測量受電介質(zhì)特性的影響。通常用于空氣中的測量，傳感器和目標之間的區域應該完全沒(méi)有灰塵、油或水。如有必要，這可以通過(guò)將空氣吹過(guò)傳感器和目標之間的間隙來(lái)實(shí)現。

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LP-IM100皮米干涉位移傳感器 可測量納米范圍內的位移（增量距離）。LP-IM100 采用模塊化和小型化設計，可輕松使所有三個(gè)測量軸適應各種應用。

憑借其緊湊的尺寸，LP-IM100干涉位移傳感器可以直接集成到機器中，是具有挑戰性的OEM和同步加速器應用的首選產(chǎn)品。被動(dòng)冷卻的外殼最大限度地減少了噪音和振動(dòng)，并避免干擾其他光學(xué)和電氣部件。

對于更受限制的應用，傳感器頭可以遠程操作，并通過(guò)玻璃纖維互連。位移測量干涉儀的法布里-珀羅技術(shù)使得傳感器頭具有更少的部件，因此測量更穩定。

各種數字和模擬實(shí)時(shí)接口和協(xié)議使位置數據的簡(jiǎn)單傳輸成為可能。用于實(shí)時(shí)數據通信的高速接口有AquadB、專(zhuān)有串行字(HSSL)、合成模擬sin/cos/和線(xiàn)性模擬輸出信號。所有信號可以輸出為單端(LVTTL)或差分(LVDS)。

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