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DFAA10自對準晶圓測試系統

DFAA10自對準晶圓測試系統是為硅光子晶圓設計的自動(dòng)對準系統。該系統由“探針臺模塊”,“光學(xué)對準模塊”和“測量模塊”組成。

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光學(xué)垂直耦合、透鏡對準...

 

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